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技術(shù)支持

Technical Support

氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表

氣      體 代號(hào)(SEMIE52-0302) 比熱(卡/克℃) 密度(克/升 0℃) 轉(zhuǎn)換系數(shù)
Air 空氣 008 0.2400 1.2930 1.006
Ar 氬氣 004 0.1250 1.7837 1.415
AsH3 砷烷 35 0.1168 3.4780 0.673
BBr3 三溴化硼 79 0.0647 11.1800 0.378
BCl3 三氯化硼 70 0.1217 5.2270 0.430
BF3 三氟化硼 48 0.1779 3.0250 0.508
B2H6 硼烷 58 0.5020 1.2350 0.441
CCl4 四氯化碳 101 0.1297 6.8600 0.307
CF4 四氟化碳 63 0.1659 3.9636 0.420
CH4 甲烷 28 0.5318 0.7150 0.719
C2H2 乙炔 42 0.4049 1.1620 0.581
C2H4 乙烯 38 0.3658 1.2510 0.598
C2H6 乙烷 54 0.4241 1.3420 0.481
C3H4 丙炔 68 0.3633 1.7870 0.421
C3H6 丙烯 69 0.3659 1.8770 0.398
C3H8 丙烷 89 0.3990 1.9670 0.348
C4H6 丁炔 93 0.3515 2.4130 0.322
C4H8 丁烯 104 0.3723 2.5030 0.294
C4H10 丁烷 111 0.4130 2.5930 0.255
C5H12 戊烷 240 0.3916 3.2190 0.217
CH3OH 甲醇 176 0.3277 1.4300 0.584
C2H6O 乙醇 136 0.3398 2.0550 0.392
C2H3Cl3 三氯乙烷 112 0.1654 5.9500 0.278
CO 一氧化碳 009 0.2488 1.2500 1.000
CO2 二氧化碳 25 0.2017 1.9640 0.737
C2N2 氰氣 59 0.2608 2.3220 0.452
Cl2 氯氣 19 0.1145 3.1630 0.858
D2 氘氣 14 1.7325 0.1798 0.998
F2 氟氣 18 0.1970 1.6950 0.931
GeCl4 四氯化鍺 113 0.1072 9.5650 0.267
GeH4 鍺烷 43 0.1405 3.4180 0.569
H2 氫氣 007 3.4224 0.0899 1.010
HBr 溴化氫 10 0.0861 3.6100 1.000
HCl 氯化氫 11 0.1911 1.6270 1.000
HF 氟化氫 12 0.3482 0.8930 1.000
HI 碘化氫 17 0.0545 5.7070 0.999
H2S 硫化氫 22 0.2278 1.5200 0.844
He 氦氣 001 1.2418 0.1786 1.415
Kr 氪氣 005 0.0593 3.7390 1.415
N2 氮?dú)?/span> 13 0.2486 1.2500 1.000
Ne 氖氣 002 0.2464 0.9000 1.415
NH3 氨氣 29 0.5005 0.7600 0.719
NO 一氧化氮 16 0.2378 1.3390 0.976
NO2 二氧化氮 26 0.1923 2.0520 0.741
N2O 一氧化二氮 27 0.2098 1.9640 0.709
O2 氧氣 15 0.2196 1.4270 0.992
PCl3 三氯化磷 193 0.1247 6.1270 0.358
PH3 磷烷 31 0.2610 1.5170 0.691
PF5 五氟化磷 143 0.1611 5.6200 0.302
POCl3 三氯氧磷 102 0.1324 6.8450 0.302
SiCl4 四氯化硅 108 0.1270 7.5847 0.284
SiF4 四氟化硅 88 0.1692 4.6430 0.348
SiH4 硅烷 39 0.3189 1.4330 0.599
SiH2Cl2 二氯氫硅 67 0.1472 4.5060 0.412
SiHCl3 三氯氫硅 147 0.1332 6.0430 0.340
SF6 六氟化硫 110 0.1588 6.5160 0.264
SO2 二氧化硫 32 0.1489 2.8580 0.687
TiCl4 四氯化鈦 114 0.1572 8.4650 0.206
WF6 六氟化鎢 121 0.0956 13.2900 0.215
Xe 氙氣 006 0.0379 5.8580 1.415
10.2 轉(zhuǎn)換系數(shù)使用說明
質(zhì)量流量控制器出廠時(shí)一般用 N2 標(biāo)定，實(shí)際使用中如果是其它氣體，必要時(shí)可進(jìn)行讀 數(shù)修正，方法是以流量顯示儀顯示的流量乘以流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。如是單組份氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)可在我廠產(chǎn)品技術(shù)說明書中查得；如是多組份氣體（假定由 n 種氣體組成），請(qǐng)按下列公 式計(jì)算其轉(zhuǎn)換系數(shù) C：
基本公式： C=0.3106 N /ρ(Cp)
其中： ρ——為氣體在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度
CP——為氣體的定壓比熱
N ——為氣體分子構(gòu)成系數(shù)（與該氣體分子構(gòu)成的組份有關(guān), 見下表）
氣體分子構(gòu)成系數(shù)表:
氣體分子構(gòu)成 舉 例 N  取 值
單原子分子 Ar He 1.01
雙原子分子 CO N2 1.00
三原子分子 CO2 NO2 0.94
多原子分子 NH3 C4H8 0.88
對(duì)于混合氣體： N =N1 (ω1/ωT )+N2 (ω2/ωT ) + ··· + Nn (ωn/ωT )
導(dǎo)出公式：
0.3106 [N1 (ω1/ωT )+N2 (ω2/ωT ) + ··· + Nn (ωn/ωT )]  C = ————————————————————————
ρ1Cp1 (ω1/ωT )+ ρ2Cp2 (ω2/ωT )+ ··· + ρnCpn (ωn/ωT)
其中: ω1 …ωn ——為相應(yīng)氣體的流量
ωT ——為混合氣體的流量
ρ1…ρn ——為相應(yīng)氣體在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度 (數(shù)值見氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)表)
CP1…CPn ——為相應(yīng)氣體的定壓比熱 (數(shù)值見氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)表)
N1 … Nn ——為相應(yīng)氣體的分子構(gòu)成系數(shù), 取值見氣體分子構(gòu)成系數(shù)表
說明:                                                                                                                                             
1）標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：壓力—101325Pa (760 mm Hg)，溫度—273.15K (0℃)。
2）氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)表中未列出的氣體的有關(guān)參數(shù)，可以向我們咨詢。

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